金(jīn)剛石行(xíng)業(yè)分(fēn)析
瑞鵬資産 程嫄婷
一(yī)、金(jīn)剛石概述
（一(yī)）特性
金(jīn)剛石是(shì)由碳原子(zǐ)組成的(de)晶體( ₽tǐ)，其中每個(gè)碳原子(zǐ)與周圍的(de)4個(gè)碳原子(zǐ☆ )以共價鍵相(xiàng)連，構成正四面體(tǐ)結構。金(jīn)剛石是(shì)自(zì ₽)然界中天然存在的(de)最硬的(de)物(wù)質，與矽同為(wèi ∑)單質半導體(tǐ)，單晶金(jīn)剛石被稱為(wèi)“終₩↓極半導體(tǐ)”，性能(néng)完全超越現(xiàn)有(yǒu)半☆β ÷導體(tǐ)材料，可(kě)以克服SiC和(hé)GaN“擊穿場(chǎng)強不(b"'ε☆ù)足”和(hé)“自(zì)熱(rè)效應”瓶頸。在超高(g↓≠āo)電(diàn)壓、超高(gāo)頻(pín)率、超大(dà)功率、≤§✘™超高(gāo)效率、耐輻照(zhào)且無需冷(lěng)卻的(de)電(dià"αn)子(zǐ)器(qì)件(jiàn)方面，單晶金(jīn)剛石具有(yǒu)得(±α£de)天獨厚的(de)優勢。
金(jīn)剛石與其他(tā)半導體(tǐ)襯底材料性能(néng↓γ)對(duì)比如(rú)下(xià)：
（二）金(jīn)剛石的(de)分(fēn)類
1、單晶與多(duō)晶分(fēn)類
金(jīn)剛石按照(zhào)晶體(tǐ)排列情況可(kě)分(fēn)§↓為(wèi)單晶與多(duō)晶，單晶金(jīn)剛石是(shì)原子(zǐ☆∞)排列規律相(xiàng)同、晶格位相(xiàng)一(yī)緻的(de)晶體(t∏↕ǐ)，結晶體(tǐ)內(nèi)部的(de)微(wēi×"α↔)粒在三維空(kōng)間(jiān)呈有(yǒu)規律地(dì)、同期✘₹¥α性地(dì)排列，具有(yǒu)缺陷少(shǎo)、無晶界制(zhì)♠→♦γ約的(de)特點，具有(yǒu)均勻的(de)化(huε&à)學、熱(rè)力學、電(diàn)學性能(néng)∞∑÷±。半導體(tǐ)級别的(de)金(jīn)剛石隻能(néng)是(shì)單晶結構。多β↕(duō)晶金(jīn)剛石是(shì)由衆多(duō)位向不(bù)一(yī)緻的(γ↕ de)細小(xiǎo)的(de)納米級和(hé)微(wēi)米級小(xiǎ→§o)晶粒組成，晶體(tǐ)結構不(bù) ✔均勻，缺陷嚴重、脆弱，多(duō)晶金(jīn)剛石廣泛用(yò↕€ng)于砂輪、磨料和(hé)散熱(rè)等領域。
2、用(yòng)途分(fēn)類
金(jīn)剛石根據材料品質和(hé)用(yòng)途可(kě)分(fēn)為(wèi)力學級、熱≠☆ ÷(rè)學級、光(guāng)學級和(hé)電(diàn)子(zǐ)級。™ ®力學級金(jīn)剛石基于其超硬的(de)材料特性，在超精密加工(gōng)、鑽探、超高(gāo↔↔☆)壓物(wù)理(lǐ)等領域具有(yǒu)普遍應用(yòng)；熱(rè)學級金(jīn)剛石₩憑借其超高(gāo)的(de)導熱(rè)率和(hé)絕緣性能(↑♣εεnéng)，使用(yòng)在半導體(tǐ)®±熱(rè)沉等散熱(rè)領域；光(guāng)學級金(jīn)剛石擁有(yǒu)從(≠εcóng)紫外(wài)波段到(dào)遠(yuǎn)紅(hóng)外(wài)波段↑≠ 乃至微(wēi)波的(de)超寬透過波段，因而成為(wèi)高(gāo)功率激光★₽(guāng)、微(wēi)波裝備及大(d↕≥à)通(tōng)量光(guāng)源的(de)理( ≤'lǐ)想窗(chuāng)口材料；電(diàn)子(zǐ)級金(jīn)剛石被稱為(wèi)“®終極半導體(tǐ)”材料，可(kě)作(zuò)為(wèi)新一(yī≠₹)代半導體(tǐ)襯底，在航空(kōng)航天、人(rén)工(gōn↕±<g)智能(néng)、5G等尖端科(kē)技(jì)領域具有(yǒu★γ→)極為(wèi)重要(yào)的(de)戰略意義。
二、制(zhì)備方式
（一(yī)）制(zhì)備工(gōng)藝
自(zì)從(cóng)18世紀證實了(le)金(jīn) ☆β©剛石是(shì)由純碳組成以來(lái)，人(rén)們就(jiù)開(← &kāi)始了(le)對(duì)人(rén)造金(jīn)剛石的(de)÷σε研究。目前人(rén)造金(jīn)剛石的(de)産業(yè)化(hφ¶uà)制(zhì)備方式有(yǒu)兩種：高(gāo)溫高(gāo)壓法（HT♦&HP）和(hé)微(wēi)波等離(lí)子(zǐ)體(tǐ)化(huà)↑÷✘✘學氣相(xiàng)沉積法（MPCVD）。高(gāo)溫高(gāo)壓法受到(dào)設•σ備尺寸增大(dà)難的(de)限制(zhì)，目前還(hái)難以制(←±₩σzhì)備大(dà)尺寸單晶金(jīn)剛石，且制(zhì)備過程中需要(yào±•&☆)加入金(jīn)屬催化(huà)物(wù)，導☆φσ緻合成的(de)金(jīn)剛石可(kě)能(néng)含有(yǒu)金(jīn∑↔)屬觸媒等雜(zá)質，無法直接用(yòng)做(zuò)半導體(tǐ)★§電(diàn)子(zǐ)級别。
微(wēi)波等離(lí)子(zǐ)體(tǐ)化(huà)學氣相(xiàng)沉積（MPCVDβ£±）法是(shì)目前公認制(zhì)備高(gāo)品質金(jīn)剛石的(de)方法，相(xiànπ♥☆g)比HPHT技(jì)術(shù)，MPCVD在←&晶體(tǐ)質量控制(zhì)、半導體(tǐ)摻雜(zá)、形貌控制λσ&↓(zhì)、大(dà)面積方面更具優越性。其生(shēng)長(cháng)單晶金(≥>jīn)剛石所用(yòng)氣源主要(yàoπ←)有(yǒu)氫氣( H2) 、甲烷( CH4)↓α 、氮氣( N2) 和(hé)氧氣( O2)，在微(wēi)波作(zuò)用(yòng)下(x©'ià)裂解成 H、O、N 原子(zǐ)或 CH2、CH3、C2H2、OH 等基團。≥¥含碳基團( CH2、CH3、C2H2) 将在金(jīn)剛石（籽晶）↔δ' 表面形成氣固混合界面，在動态平衡模型或非平衡δ₽✘≠熱(rè)力學模型下(xià)實現(xiàn)金(jīn)剛石(φ↔$ sp3) 、非晶碳或石墨( sp2) 的(de)↓<≠生(shēng)長(cháng)。氫等離(lí)子(zǐ)體(tǐ)刻蝕非晶碳或石墨的® δ(de)速度比刻蝕金(jīn)剛石的(de)速度快(kuài)得(de)多(duō♦™)，因此 CVD 金(jīn)剛石表面的(de)非金(jīn)剛∞₹$>石相(xiàng)被快(kuài)速刻蝕，從(cóng)而實現(xiàn)金€• (jīn)剛石生(shēng)長(cháng)。進一(yī)步可(kě)以利用(yòngπ•÷₽)三維生(shēng)長(cháng)和(hé)克隆襯底馬賽克拼接技(jì)術(shùφε↕)可(kě)以得(de)到(dào)更大(dà)的(de)單晶金( ♦↕©jīn)剛石。
（二）大(dà)尺寸制(zhì)備方式
當下(xià)電(diàn)子(zǐ)級的★£(de)單晶金(jīn)剛石的(de)尺寸普遍在英寸級以下(xià)，但(dàn)若作(zuò)為(wèi)晶圓襯底，其尺寸需要(yào)∑ 在2英寸及以上(shàng)，才能(néng)規模化(hu>↔♣∏à)的(de)進行(xíng)後續的(de)晶圓前道(dào)制(zhì)備工(gōng)序。高€♣↔§(gāo)溫高(gāo)壓法受到(dào)設備增大(dà)困σ•$難的(de)影(yǐng)響，其制(zhì)備的(de)單晶↔§金(jīn)剛石普遍在英寸級以下(xià)；而MPCVD法需要(yào)先有(yǒu)同樣大(±π¶•dà)尺寸和(hé)規格的(de)金(jīn)¶≥¥剛石作(zuò)為(wèi)籽晶才能(néng)沉積生(shēng)長(ch≤<®§áng)。因此，大(dà)尺寸電(diàn)子(©↔δ&zǐ)級單晶金(jīn)剛石的(de)制(zhì)備技(÷®↔★jì)術(shù)仍是(shì)金(jīn"↕™)剛石材料作(zuò)為(wèi)半導體(tǐ)器(qì)件(jiàn)商業(yè)應λλ∞用(yòng)所面臨的(de)挑戰之一(yī)。
目前，CVD制(zhì)備大(dà)尺寸單晶金(j✔π£īn)剛石的(de)技(jì)術(shù)主要(yào)有(yǒu)單顆三維生↔(shēng)長(cháng)技(jì)術(shù)、≤≥"拼接生(shēng)長(cháng)技(jì)術(sh±≤ù)以及異質外(wài)延生(shēng)長(cháng)技(j&® ì)術(shù)。具體(tǐ)如(rú)下(xià)：
從(cóng)實現(xiàn)大(dà)尺寸單晶襯底生(∞δ≈$shēng)長(cháng)來(lái)看(kàn)，異質外≤☆•(wài)延和(hé)拼接生(shēng)長(cháng)方案更容易實現(xiàn)，但(d★'àn)結晶質量不(bù)如(rú)單顆金(jīn)剛石同質₹↓↔外(wài)延生(shēng)長(chán↑✘→g)，同質外(wài)延金(jīn)剛石中的£φ(de)位錯(cuò)密度一(yī)般在10^3- ↑10^6/cm^2，而異質外(wài)延生(shēng)長(cháng)獲得(de)的(dγ∏e)金(jīn)剛石中的(de)位錯(cuò)密度為(wèi)10^6-10^8/cm^2。利☆&♠<用(yòng)拼接生(shēng)長(cháng )獲得(de)的(de)單晶金(jīn)剛石則在拼接縫邊緣存在高(gāo)密₹∑γ度缺陷及應力分(fēn)布。如(rú)何進一(yī)步降低(dī)金(jīn☆δ)剛石的(de)位錯(cuò)密度是(shì)大(dà)尺寸單晶襯底生(shē₩"ng)長(cháng)面臨的(de)主要(yào)挑戰之一(yī)。
三、行(xíng)業(yè)發展現(xiàn)狀
（一(yī)）下(xià)遊應用(yòng)需求情況
超寬禁帶半導體(tǐ)金(jīn)剛石集電(diàn)學、光(guāng)學、力學和(hé¥σ€)熱(rè)學等優異特性于一(yī)體(tǐ)，在高(gāo)溫、高(gāo)頻(p∏γ↓ín)、高(gāo)效、大(dà)功率微(wē≠φ£i)波器(qì)件(jiàn)、電(diàn)力電(diàn)子(zǐ)器(qì)件(jià<÷↑n)、生(shēng)物(wù)傳感器(qì)、紫外(wà"☆$i)和(hé)X光(guāng)探測與成像、粒子(zǐ)閃爍體(tπ₹✔&ǐ)探測與成像、光(guāng)電(diàn)器(q™♦✔ì)件(jiàn)、航空(kōng)航天和(hé)武器(qì)系統方面有(yǒu)著(↑>zhe)極為(wèi)重要(yào)的(de)應☆σπ用(yòng)前景，性能(néng)完全超越現(xiàn)有(yǒu)的(de)半導體(≥₩♥tǐ)材料，可(kě)以克服SiC和(hé)GaN“擊穿場(chǎng)強不(b$ ₽ù)足”和(hé)“自(zì)熱(rè)效應”瓶頸，被譽為(wèi)“φβ Ω終極半導體(tǐ)”。
目前受限于生(shēng)産技(jì)術(shù)，半導體(tǐ)級單晶金(jīn)剛石還( α₹&hái)沒有(yǒu)進入大(dà)規模的(de)産業(yè)化(huà)。未來(lái)随φ∏著(zhe)技(jì)術(shù)不(bù)斷提™®"↓高(gāo)和(hé)研發突破，單晶金(jīΩ≠n)剛石進入産業(yè)化(huà)生(s<βπλhēng)産後，下(xià)遊廣泛的(de)應用(yòng)領域對®λ(duì)其需求是(shì)巨大(dà)的(de)。
1、金(jīn)剛石的(de)電(diàn)學性能(néng)
金(jīn)剛石的(de)電(diàn)☆×學特性，包括大(dà)的(de)禁帶寬度、高(gāo)的(de)載流子(z£≥ǐ)遷移率、高(gāo)的(de)擊穿電(diàn)場(chǎng)、ש₩∞大(dà)的(de)熱(rè)導率等承載了(× le)人(rén)類将金(jīn)剛石稱為(wèi)終極半導體(tǐ)的(de)巨大€₹∏♣(dà)期望。然而，金(jīn)剛石是(shì)絕緣體(tǐ)（常态下(xià)），半★∏∞導體(tǐ)化(huà)是(shì)其應用(yòng)發展的(de)最大(d>•γà)障礙。金(jīn)剛石材料的(de)摻雜(zá)是(shì)形成功率器(qì)件(ji←"àn)的(de)基礎技(jì)術(shù)，通(tōng)過向金(jīn)剛石中摻入适當的(de€♥©≈)元素從(cóng)而改變其電(diàn)學性能(néng)，使其可(kě)以作(zuò)為( αwèi)半導體(tǐ)材料廣泛應用(yòng)于✔<↑↑電(diàn)學器(qì)件(jiàn)中。
金(jīn)剛石摻雜(zá)包括p型摻雜(zá)和(hé)n型摻雜(zá)，含有↔© λ(yǒu)雜(zá)質的(de)天然金(jīn)剛石呈現(xiàn)p型導電(diàn)特性，在工<₩σ (gōng)業(yè)生(shēng)産中，也(yě)可(kě)以通(tōng)過離(l®φí)子(zǐ)注入和(hé)CVD法向金(jīn)♦&₽≠剛石中摻入硼元素來(lái)實現(xiàn)。然而自(zì)然界中¶↓✔₩不(bù)存在n型導電(diàn)的(de)天然金(jīn)剛石，而且晶格缺陷會(hu&↑ì)補償載流子(zǐ)，使摻入的(de)雜(zá)質元素得(de)不(b¶ ù)到(dào)有(yǒu)效激活，導緻金(jīn)剛石的(de)n型摻雜(zá)一(yī)直δ★¥'是(shì)行(xíng)業(yè)內(nè©®i)的(de)難題。
2、金(jīn)剛石光(guāng)學性能(néng)
金(jīn)剛石光(guāng)學材料基于α ↓→其優異綜合性能(néng)，除在中紅(hóng)外(≤σwài)3～5μm範圍內(nèi)因聲子(zǐ)振動存在本征吸收峰外(wài)，從(cóng)深★∑®紫外(wài)0.23μm至微(wēi)波毫米波段都(dōu)具有(yǒu)很(hěn)好(hǎo ↔α)的(de)透過性。金(jīn)剛石的(de★ >©)光(guāng)學應用(yòng)主要(yào)是(shì)分(fēn)為(₽£δwèi)金(jīn)剛石自(zì)支撐膜窗₩£(chuāng)口、光(guāng)學晶體(tǐ)和(hé)光(guāng)學塗層。金ε♦(jīn)剛石自(zì)支撐膜窗(chuāng)口适用(yòng)的(de)波長(cháng)♣α®<基本囊括了(le)從(cóng)X射線、深紫外(wε♣'βài)到(dào)微(wēi)波的(de)所有(yǒu)波段，可(kě)用(yòng)于微(wγ₽§ēi)波窗(chuāng)口、導彈窗(chu ∞♥āng)口/整流罩、X射線窗(chuāng)口、激光(guāng)窗(chuāng)口、微(¶"✘¥wēi)透鏡等核聚變、機(jī)載、彈載、艦載、星載上(shàng)的€↔(de)窗(chuāng)口組件(jiàn)。基于金(jīn)剛石內(nèiγσ)部碳原子(zǐ)的(de)高(gāo)原子(λ•zǐ)密度和(hé)強鍵合特性，結合高(gāo)度對(duì)稱的(de)晶格結構，使其具✔₹有(yǒu)高(gāo)拉曼增益；同時(shí)，高(gāoΩ←≠)折射率和(hé)高(gāo)聲波傳輸速度使之具有(yǒu)高(gāo)布裡(lǐ)淵增益和(héαφ)布裡(lǐ)淵頻(pín)移。因此，金(jīn)剛石晶體(tǐ)能(né♣♦•ng)夠為(wèi)高(gāo)功率和(hé)高(gāo)效率的(de)§Ω拉曼和(hé)布裡(lǐ)淵激光(guāng)運轉提供新的(de)載→₩®體(tǐ)，可(kě)有(yǒu)效率地(dì)改善拉曼激光(guāng)器(qì☆♥)輸入光(guāng)束的(de)空(kōng)間(jiāש≈n)相(xiàng)幹性，使布裡(lǐ)淵激光(guāng)器( Ωqì)更易獲得(de)頻(pín)率可(kě)分(fēn)辨的(de)↑φ&ε斯托克斯光(guāng)輸出。金(jīn)剛石光(guāng)學塗層(厚度小(xiǎ♠→β<o)于幾十個(gè)微(wēi)米)，可$δ♠(kě)直接将金(jīn)剛石薄膜沉積到(dào)被保護的(de)光(✘∑guāng)學窗(chuāng)(如(rú)石英、矽等)表面上(shàng)，起₩≤到(dào)增透，保護的(de)作(zuò)用(yòn✔≠γ>g)。
3、金(jīn)剛石散熱(rè)
金(jīn)剛石是(shì)絕緣體(tǐ)，自(zì)由運動的(de)電(diàn)子(zǐ)數(∏♦∑©shù)很(hěn)少(shǎo)，對(duì)導熱(rè)的(de)貢獻主要(yào)是(sh®¥¥∑ì)來(lái)自(zì)原子(zǐ)振動（晶格振動）。Ωλ固體(tǐ)物(wù)理(lǐ)中用(yòng)格波來(lái)描述晶格振動，最小(♦"₹xiǎo)能(néng)量單元的(de)格波稱為(wèiγ $δ)聲子(zǐ)。在室溫下(xià)，金(jīn)剛石中碳原子(zǐ)半徑小(xiǎo)€ ∑✔、結合力強、聲子(zǐ)流傳輸容易；且金(jīn→β)剛石彈性模量大(dà)，密度小(xiǎo)，其德拜溫度在2220K左右，高(gāo)± ♠的(de)德拜溫度也(yě)決定著(zhe)金(jīn)剛石具有(★σ yǒu)較高(gāo)聲子(zǐ)平均速度（1.82×104m/s），因此有(yǒu)極高(g©γāo)的(de)熱(rè)導率。
金(jīn)剛石的(de)散熱(rè)應用≠α¶Ω(yòng)主要(yào)有(yǒu)兩種方式，一(yī)是(shì)大(dà)面積€¶的(de)集中散熱(rè)，如(rú)TR§εα™組件(jiàn)、微(wēi)波功率組件(jiàn)和(h"♥é)高(gāo)功率激光(guāng)器(qì✔×φ)組件(jiàn)等；二是(shì)對(duì)熱(rè)發射單元的₽©φ↓(de)點散熱(rè)，如(rú)氮化(huà)镓器(qì)件(jiàn)。前者使用(y♣≤'òng)大(dà)尺寸的(de)金(jīn)剛石自(zì)支撐膜或直接沉積，後者÷✔是(shì)再進行(xíng)單點加工(©<gōng)。連接方式有(yǒu)鍵合、粘接和(hé)焊接。
4、金(jīn)剛石力學性能(néng)
金(jīn)剛石的(de)力學性能(néng)包括現™®(xiàn)有(yǒu)已知(zhī)材料中最高(gāo)的(de)硬度（維<δ™≈氏硬度>8000 kg/mm^2）、高(gāo)彈性模量（楊氏模量可(kě)達1.05×101Ω↔2Pa）、大(dà)的(de)抗壓強度（•≈≤可(kě)達8600MPa）、極高(gāo)的(de)•耐磨性和(hé)低(dī)摩擦系數(shù)（空(kōng)氣中與金(jīn♦δ•)屬的(de)摩擦系數(shù)小(xiǎo)于0.1）等優異特性。
在金(jīn)剛石的(de)力學研究方面φ∑§，目前主要(yào)分(fēn)為(wèi)金(jīn)♦ δ剛石自(zì)支撐膜本身(shēn)的(de)性能(néng)和(hé)作(zuò)為σ&§↓(wèi)工(gōng)具塗層的(de)金(jīn)剛石膜應用(yΩ↓♠←òng)兩部分(fēn)。金(jīn)剛石自(zì)支撐膜的(de)性≈<✔能(néng)主要(yào)包括斷裂的(de)強度和(hé)韌性、砂→§φ蝕和(hé)雨(yǔ)蝕以及循環載荷下(xià)的(de)動态力學性能(néng)和("©hé)摩擦磨損性能(néng)。作(zuò)為(wèi)共聚塗層，₩$" 在切削、機(jī)加工(gōng)等傳統工(gōng)業≠££ (yè)應用(yòng)領域，金(jīn)剛石相(xiàng)關産品∞♣€$的(de)應用(yòng)已經非常成熟，具體€♠↓ (tǐ)主要(yào)表現(xiàn)在塗層刀(dāo)具和(hé)拉絲模具，金(jīn)€←←☆剛石塗層可(kě)以有(yǒu)效延長(♣>•γcháng)工(gōng)具的(de)使用(yòng)壽命，且由←δ$于金(jīn)剛石本身(shēn)的(de)高(gāo)硬度和(hé)低(dī)摩™↔擦，塗層可(kě)以提高(gāo)刀(dāo)具的(de)切削性能(néngΩ"•≤)和(hé)拉絲模産品表面的(de)平滑度。
（二）行(xíng)業(yè)發展情況
金(jīn)剛石（CVD制(zhì)備）電(dià≤"§÷n)子(zǐ)級和(hé)光(guāng)學級應用(y↔¶∞€òng)的(de)關鍵問(wèn)題是(shì)“缺陷”，高(gāo)純度和(×→hé)低(dī)缺陷密度是(shì)金(jīn)剛石未來(lái)一(yī)段時(shíεβ$)間(jiān)集中需要(yào)解決的(de)問(wèn)題方向。目前π≥∏高(gāo)溫高(gāo)壓法制(zhì)備的(de≠≥±₽)單晶金(jīn)剛石最大(dà)尺寸可(kě)達直徑20mm；MPCVε↓D制(zhì)備的(de)同質外(wài)延生(shēng)長(cháng)尺寸©¥可(kě)達1英寸；采用(yòng)拼接技(jì)術(shù)可(kě)達到(dào)2英寸∑∏λ；采用(yòng)異質外(wài)延生(∞ shēng)長(cháng)可(kě)達到(dào)4γεγ英寸。金(jīn)剛石的(de)散熱(rè)方向是(shì)其發展最快(kuàβ≥i)的(de)應用(yòng)方向，與高(gāo)效率制(zhì)備和(×₹hé)散熱(rè)面積相(xiàng)匹配的(d§λ<≥e)應用(yòng)技(jì)術(shù)将在短™↕£(duǎn)期內(nèi)超越器(qì)件(jiàn)散熱(rè> γ∏)的(de)需求，實際應用(yòng)的(de)關鍵是(shì)成本控制(zhì)。
我國(guó)在金(jīn)剛石的(de)産業(yè)π化(huà)上(shàng)擁有(yǒu)很(hěn)好(hǎo)的(de)基礎★™§♠與優勢，擁有(yǒu)全球金(jīn)剛石行(xΩ★≤≈íng)業(yè)規則制(zhì)定及産品定價的(de)話(huà)語權，金(jīn)剛&♦ε石單晶、微(wēi)粉和(hé)制(zhì)造的(de)市(sh™$ì)場(chǎng)占有(yǒu)率超過9$β®0%，制(zhì)作(zuò)成砂輪、切割線、刀(dāo)具等多(du♥$ §ō)種形态産品，廣泛應用(yòng)于下(xià)遊石油鑽探、石材切割、光(guāng)伏≠♦™₩切割等市(shì)場(chǎng)，使用♥∏(yòng)範圍廣、應用(yòng)場(chǎng)景多(duō)，也(yě)出現(xi★₽ àn)了(le)如(rú)惠豐鑽石、黃(huáng)河(hé)旋風(fēng)、岱勒新∏§Ω♥材和(hé)美(měi)暢股份等若幹家(jiā)←₩∏金(jīn)剛石相(xiàng)關的(de)上(shàng)市(±£shì)公司。下(xià)一(yī)步的(de)發展重點，更多(duō)在半導體(tβ₹↑ǐ)領域。國(guó)內(nèi)廠(chǎng)家(jiā)對(duì)發揮金(jīn)剛<✔₹₹石電(diàn)子(zǐ)電(diàn)力即半導體(tγ ǐ)性能(néng)的(de)認識上(shàng)，與國(guó)際基本同步。未來(lái)金(✘γjīn)剛石材料和(hé)功率器(qì)件¶€¶(jiàn)發展的(de)重點方向集中在：首先是(shì)開(kāi)發出滿足功率✔←≥半導體(tǐ)器(qì)件(jiàn)制(zhì)造要(yào)求的(de)2英寸以上(shàng∏→φ)的(de)襯底制(zhì)備技(jì)術(shù)；其次是(shì)在高(gāo)λ€σ質量金(jīn)剛石N型摻雜(zá)技(jì)術(shù)方面進一(yī)步取得(ε÷β&de)突破；再者就(jiù)是(shì)金(jīn)剛石器(qì)件(jiàn)研制ו®(zhì)的(de)核心工(gōng)藝，研制¥₹₹(zhì)出高(gāo)性能(néng)的(de)金ש±€(jīn)剛石功率器(qì)件(jiàn)，提高(gāo)穩定↓≤✘性，實現(xiàn)商業(yè)化(huà)應用(yòng)。
